4200-SCS/C, Система измерения параметров полупроводников

Cистема Keithley 4200-SCS – универсальная система для измерений I-V (вольт-амперных характеристик –ВАХ) и С-V (вольт-фарадных характеристик) на постоянном токе и в импульсном режиме для полупроводниковых приборов и тестовых структур на пластине в полупроводниковом производстве. Система имеет модульную многоканальную архитектуру и настраиваемую конфигурацию, поддерживая до 9 измерительных и дополнительных модулей. Обеспечивает: Измерение ВАХ в диапазоне токов 0.1 фА до 1 А и напряжения от 1 мкВ до 210 В Измерение C-V в диапазоне до 400 В с разрешением 5 мВ, в частотном диапазоне от 1 кГц до 10 МГц Ультрабыстрое и импульсное тестирование с временным разрешением 10 нс Основные особенности: Встроенный системный контроллер с процессором 2 Duo-Pentium и поддержкой монитора высокого разрешения Шасси поддерживает до 9 измерительных модулей одновременно Опционально предусилитель малых токов для модулей средней и высокой мощности Измерение вольт-фарадных (C-V) характеристик с дифференциальным смещением ±60 В и в д